Лаборатория диагностики материалов и структур твердотельной электроники

Области исследования и научные тематики:

• Современные методы практической диагностики:
• рентгеноспектральный микроанализ
• электронная сканирующая и просвечивающая микроскопия
• спектральная катодолюминесценция
• сканирующая туннельная и атомно-силовая микроскопия
• высокоразрешающая рентгеновская дифрактометрия
• оптические, фотоэмиссионные методы
• спектроскопия полной проводимости
• нестационарная спектроскопия глубоких уровней
• Полупроводниковое материаловедение:
диагностика элементного, фазового и химического состава, параметров реальной структуры, геометрических, электро-физических и оптических характеристик.

Лаборатория входит в Региональный Центр коллективного пользования "Материаловедение и диагностика в передовых технологиях".

На базе лаборатории создана международная учебно-научно демонстрационная лаборатория ФТИ-Токио Боеки.

Заведующий лабораторией